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一、引言 }<R,)ZV^G
目前国内外智能交通行业车辆检测装置采用的技术除了最早研发的地感线圈技术以外,还包括光电技术、超声波技术、微波技术、视频技术等,然而后面几种技术容易受到日照、风雨、电磁场等外界干扰,应用范围受到很大的限制,因此地感线圈仍为主要的检测手段。地感线圈作为车辆检测器,是在道路表层下埋置环形感应线圈,以测定电感变化检测车辆是否存在。地感线圈虽然是相对成熟的车辆检测技术,但仍有许多缺点。利用AMR (AnISOtropic Magneto Resistant)各向异性磁传感器进行的地磁车辆检测,通过检测汽车对地磁信号的扰动,判断车辆的到位及通过,从而实现车辆信息的分析、控制及管理,具有安装简便、抗干扰能力强、集成化程度高等更多优点。 ).U\,@[A{
二、AMR各向异性磁阻传感器的工作原理 Tzr_K
物质在磁场中电阻发生变化的现象称为磁电阻效应。磁电阻效应有基于霍尔效应的普通磁电阻效应和各向异性磁电阻效应之分。对于强磁性金属(铁、钴、镍及其合金),当外加磁场平行于磁体内部磁化方向时,电阻几乎不随外加磁场而变;当外加磁场偏离金属的内磁化方向时,金属的电阻减小,这就是各向异性磁电阻效应。 XJg8-)T
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AMR各向异性传感器的基本单元是用一种长而薄的坡莫(Ni-Fe)合金用半导体工艺沉积在以硅衬底上制成的,沉积的时候薄膜以条带的形式排布,形成一个平面的线阵以增加磁阻的感知磁场的面积。外加磁场使得磁阻内部的磁畴指向发生变化,进而与电流的夹角发生变化,就表现为磁阻电阻各向异性的变化。从图1可以清楚地看到,坡莫合金薄膜的电阻依赖于磁化强度M和电流I方向的夹角θ,即 p]h;M
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式中,R//—电流方向与磁化方向平行时的电阻;R⊥—电流方向与磁化方向垂直时的电阻。 g)0>J
当电流方向与磁化方向平行时,传感器最敏感。而一般磁阻都工作于图中45°线性区附近,这样可以实现输出的线性特性。 F6
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