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请问哪里可以测量镀在硅片上的薄膜的折射率？ [复制链接]

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离线ysbl
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只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主  发表于: 2012-10-04
是SiN薄膜，厚度 300nm，折射率1.9左右 ^ C#bW <T  
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离线toby
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只看该作者 沙发  发表于: 2012-10-04
nanocal可应用于在线膜厚测量、测氧化物、sinx、感光保护膜和半导体膜。也可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。
 
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